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光学光刻和极紫外光刻

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装帧:平装
作者:[德]安迪·爱德曼
ISBN:9787547857205
出版日期:2024-1-1
书名:光学光刻和极紫外光刻
出版社:上海科学技术出版社
开本:24cm

本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后，还专门开辟章节，介绍了最先进的极紫外光刻技术的特点和难点，揭示了极紫外光刻的技术奥秘。

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