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图说集成电路制造工艺

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  • 装帧:平装
  • 作者:孙洪文
  • ISBN:9787122432902
  • 出版日期:2023-8-1
  • 书名:图说集成电路制造工艺
  • 出版社:化学工业出版社
  • 开本:24cm
本书首先介绍了半导体行业的发展史;接着将整个芯片制造流程分为“加”“减”“乘”“除”四类,用图说的形式,讲解了氧化、化学气相淀积、物理法沉积薄膜、扩散、离子注入、清洗硅片、刻蚀、化学机械抛光、离子注入退火、回流、制备合金、光刻等核心工艺,同时对半导体材料、净化间、化学试剂、气体、半导体设备、掩膜版等必需条件做了介绍。
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