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等离子体刻蚀工艺及设备

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装帧:平装
作者:赵晋容
ISBN:9787121450181
出版日期:2024-1-4
书名:等离子体刻蚀工艺及设备
出版社:电子工业出版社
开本:24cm

本书介绍了等离子体基础知识、基于等离子体的刻蚀技术、等离子体刻蚀设备及其在集成电路中的应用。

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