扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术（第2版）

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本书分为上、下两篇。上篇论述了扫描电镜的原理、结构、操作要点和应用中几种常见的图像质量问题，以及改善图像质量的应对方法和措施，列举了多种电子元器件在电应力和环境应力作用下的一些失效案例，介绍了扫描电镜常用的几种维护保养方式、方法；下篇介绍了能谱仪的原理、数据采集和处理及具体的应用技术。

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